防微振平台是为了减少环境振动对精密设备的影响而设计的。这种平台通常设立在地面或者格栅板上，与原有的活动地板分离，不与活动地板相互传递振动，阻隔相邻设备所产生的防微振。防微振平台的施工前需要对图纸进行认真解读和审核，采用的材料一般为钢结构，不易产尘，有利于洁净度的保持。

　　防微振平台的设计：

　　平台下的柱网尺寸应以0.6m为模数，跨度不宜大于6m。平台可以采用现浇钢筋混凝土梁板式或井式楼盖结构，也可以采用钢框架组合楼板结构。

　　混凝土平台的现浇梁、板、柱截面的最小尺寸应符合表6.2.3-1的规定，而防微振工艺设备平台现浇华夫板次梁的间距为1.2m时，截面最小尺寸应符合表6.2.3-2的规定。对于采用钢框架-组合楼板结构的防微振工艺设备层平台，次梁间距不宜大于3.2m，钢梁、组合楼板截面的最小尺寸应符合表6.2.3-3的规定。

　　此外，防微振工艺设备层平台华夫板的开孔率应满足洁净设计要求，不宜大于30%。

　　防微振平台对于精密设备非常重要，因为精密设备通常放置在洁净室内，施工作业时需要注意安全、清洁。防微振平台的设立可以减少环境振动对设备的影响，使得生产能够平稳高效的运行。这种平台也被形象得称为独立基础。